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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0915140 (1992-07-20) |
발명자 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 69 인용 특허 : 0 |
An apparatus for cleaning substrates used in critical environments with stringent end-product cleanliness requirements in a single process using microwave-energized and centrifuged dense fluids. One or more dense fluids are mixed with one or more chemical or physical agents and are simultaneously su
A device for cleaning a substrate containing at least one contaminant by placing the substrate in a centrifuge basket in a cleaning chamber comprising the combination of: a) a cleaning chamber for contacting said substrate containing said contaminant with a dense fluid at a pressure equal to or abov
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