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Plasma generating device 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01J-007/24
출원번호 US-0009992 (1993-01-27)
우선권정보 JP-0418695 (1990-12-31)
발명자 / 주소
  • Koinuma Hideomi (Tokyo JPX) Yamazaki Shunpei (Tokyo JPX) Hayashi Shigenori (Kanagawa JPX)
출원인 / 주소
  • Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. (Kanagawa JPX 03)
인용정보 피인용 횟수 : 27  인용 특허 : 0

초록 ▼

A plasma generating device and a method for etching a minute region of a substrate under atmospheric pressure are disclosed. A gas containing helium as the main ingredient is glow discharged under atmospheric pressure, a halide is added to the discharge so as to activate the halogen element, and a s

대표청구항 ▼

A plasma generating device comprising: a central columnar electrode; a peripheral cylindrical electrode coaxially surrounding said central columnar electrode; an insulating cylinder coaxially interposed between said central columnar electrode and said peripheral cylindrical electrode with a discharg

이 특허를 인용한 특허 (27)

  1. Yamazaki, Shunpei; Itoh, Kenji; Hayashi, Shigenori, Apparatus for fabricating coating and method of fabricating the coating.
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  2. Yoon, Hyungsuk Alexander; Boyd, John; Kuthi, Andras; Bailey, III, Andrew D., Apparatus for the removal of a fluorinated polymer from a substrate.
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  3. Yoon, Hyungsuk Alexander; Boyd, John; Kuthi, Andras; Bailey, III, Andrew D., Apparatus for the removal of a fluorinated polymer from a substrate and methods therefor.
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  4. Banks Bruce A. (Olmsted Township OH) Rutledge Sharon K. (Bedford OH), Atmospheric pressure method and apparatus for removal of organic matter with atomic and ionic oxygen.
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  5. Selwyn Gary S., Atmospheric-pressure plasma jet.
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  6. Price, Robert O.; Chiavarini, Robert; Kolb, Juergen F.; Schoenbach, Karl H., Cold air atmospheric pressure micro plasma jet application method and device.
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  7. Selwyn, Gary S.; Henins, Ivars, Combined plasma/liquid cleaning of substrates.
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  8. Choi, Young Seok; Kim, Dae Youn, Deposition apparatus.
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  9. Berry, Ivan; Janos, Alan C.; Colson, Michael Bruce, Dielectric barrier discharge apparatus and process for treating a substrate.
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  10. Nishiguchi, Toshiji; Nakajima, Ikuo; Aoyagi, Hiromi, Discharge generating apparatus and discharge generating method.
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  11. Song,Seok Kyun, Induction concentration remote atmospheric pressure plasma generating apparatus.
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  12. Selwyn Gary S. ; Henins Ivars ; Babayan Steve E. ; Hicks Robert F., Large area atmospheric-pressure plasma jet.
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  13. Mohamed, Abdel Aleam H.; Kolb, Juergen Friedrich; Schoenbach, Karl H., Method and device for creating a micro plasma jet.
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  14. Mohamed, Abdel-Aleam H; Schoenbach, Karl H.; Chiavarini, Robert; Price, Robert O.; Kolb, Juergen, Method and device for creating a micro plasma jet.
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  15. Yoon, Hyungsuk Alexander; Thie, William; Dordi, Yezdi; Bailey, III, Andrew D., Methods for removing a metal oxide from a substrate.
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  16. Makarov, Vladimir V.; Macheret, Sergey, Microplasma ion source for focused ion beam applications.
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  17. Makarov, Vladimir V.; Macheret, Sergey, Microplasma ion source for focused ion beam applications.
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  18. Denes, Ferencz S.; Manolache, Sorin O.; Hershkowitz, Noah, Plasma generator.
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  19. Yasushi Sawada JP; Keiichi Yamazaki JP; Yoshitami Inoue JP; Sachiko Okazaki JP; Masuhiro Kogoma JP, Plasma processing apparatus and method.
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  20. Yamazaki,Shunpei; Arai,Yasuyuki; Watanabe,Yasuko, Plasma treatment apparatus and method for plasma treatment.
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  21. Yamazaki,Shunpei; Arai,Yasuyuki; Watanabe,Yasuko, Plasma treatment apparatus and method for plasma treatment.
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  22. Yamazaki,Shunpei; Arai,Yasuyuki; Watanabe,Yasuko, Plasma treatment apparatus and method for plasma treatment.
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  23. Yasushi Sawada JP; Kosuke Nakamura JP; Hiroaki Kitamura JP; Yoshitami Inoue JP, Plasma treatment apparatus and plasma treatment method performed by use of the same apparatus.
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  24. Enloe,Carl L.; McLaughlin,Thomas E.; Jumper,Eric J.; Corke,Thomas C., Single dielectric barrier aerodynamic plasma actuation.
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  25. Hebert Edmund A. ; Lutz Mitchell E. ; Mydlack Thomas, Treatment for facilitating bonding between golf ball layers and resultant golf balls.
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  26. Hebert, Edmund A.; Lutz, Mitchell E.; Mydlack, Thomas, Treatment for facilitating bonding between golf ball layers and resultant golf balls.
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  27. Filson, II, John R.; Rodriguez, Jesse, Ultraviolet reactor.
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