[특허]Aerosol cleaning method

Aerosol cleaning method 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B08B-005/00
출원번호	US-0076064 (1993-06-14)
발명자 / 주소	Srikrishnan Kris V. (Wappingers Falls NY) Wu Jin J. (Ossining NY)
출원인 / 주소	International Business Machines Corporation (Armonk NY 02)
인용정보	피인용 횟수 : 28 인용 특허 : 0

초록 ▼

An aerosol cleaning apparatus for cleaning a substrate includes an aerosol producing means having a nozzle head. The nozzle head is positioned at a selected proximity and orientation to the substrate which is held by a rotatable holder. The aerosol spray dislodges particles from the substrate and the rotation of the substrate further assists in the removal of the loosened particles. A method of aerosol cleaning includes rotating a substrate at a preselected speed and spraying an aerosol jet in conjunction with the rotation to help in the removal of particles from the substrate.

대표청구항 ▼

A method of removing unwanted particles on a surface of a substrate used in microelectronics manufacturing, comprising the steps of: holding the substrate; rotating the substrate at a speed on the order of 500-800 rpm for applying a centrifugal force which is substantially greater than 1 g, on unwanted particles on said surface; creating an aerosol spray using Joule-Thompson expansion, said aerosol including solid particles travelling at approximately the speed of sound; and directing said aerosol at the surface of said substrate, for bombarding said unwanted particles with said solid particles, for a selected time duration in coordination with the rotation so that the bombardment of said solid particles and the centrifugal force from the rotating of the substrate causes dislodging and removal of unwanted particles from the surface.

이 특허를 인용한 특허 (28)

Narayanswami Natraj ; Wagener Thomas J. ; Siefering Kevin L. ; Cavaliere William A., Aerodynamic aerosol chamber.
상세보기
Fishkin Boris ; Brown Kyle A., Aerosol substrate cleaner.
상세보기
Rose Peter H. ; Sferlazzo Piero ; van der Heide Robert G., Aerosol surface processing.
상세보기
Rose Peter H. ; Sferlazzo Piero ; van der Heide Robert G., Aerosol surface processing.
상세보기
Rajiv S. Agarwala ; Cynthia A. Johnson, Apparatus and method for removing a label from a surface with a chilled medium.
상세보기
Fishkin, Boris; Sherrard, Michael, Apparatus for cleaning and drying substrates.
상세보기
Yoshida, Takashi; Iwasaki, Motoaki; Yano, Tatsuro; Habaya, Kurao; Shiroma, Takahiro, Cleaning method and apparatus.
상세보기
Endisch, Denis H., Edge bead removal for spin-on materials containing low volatility solvents fusing carbon dioxide cleaning.
상세보기
Becker David Scott ; Hanestad Ronald J. ; Thomes Gregory P. ; Weygand James F. ; Zimmerman Larry D., Eliminating stiction with the use of cryogenic aerosol.
상세보기
Natzle Wesley Charles ; Wu Jin Jwang ; Yu Chienfan, Film removal by chemical transformation and aerosol clean.
상세보기
Han, Yong-Pil; Sawin, Herbert H., HF vapor phase wafer cleaning and oxide etching.
상세보기
Millonzi, Richard P.; Foltz, Robert S.; Petralia, Richard C.; Caccamise, Leslie W.; Hammond, Harold F.; Crump, David P.; McCumiskey, Robert E.; Williams, Edward C., Hollow cylindrical imaging member treatment process with solid carbon dioxide pellets.
상세보기
Yamasaka Miyako,JPX, Method for washing and drying substrates.
상세보기
Lee,Moon hee; Lee,Kun tack; Shim,Woo gwan; Chung,Jong ho, Method of and apparatus for removing contaminants from surface of a substrate.
상세보기
Kawaguchi, Mark Naoshi; Mui, David; Wilcoxson, Mark, Method of particle contaminant removal.
상세보기
Sinha, Nishant; Sandhu, Gurtej S., Methods for treating surfaces.
상세보기
Sferlazzo, Piero; Gurary, Alexander I.; Armour, Eric A.; Quinn, William E.; Ting, Steve, Movable injectors in rotating disc gas reactors.
상세보기
Benson, Peter A., Non-chemical, non-optical edge bead removal process.
상세보기
Benson, Peter A., Non-chemical, non-optical edge bead removal process.
상세보기
Philip G. Perry ; Rajiv S. Agarwala ; Jodie L. Morris ; Loren E. Hendrix ; Carmen W. Enos ; Gregory J. Arserio, Process for roughening a surface.
상세보기
Antolotti, Nelso; Scrivani, Andrea; Rizzi, Gabriele; Russo, Dario, Process for surface preparation of parts to be coated.
상세보기
Wagener Thomas J. ; Siefering Kevin L. ; Kunkel Pamela A. ; Weygand James F. ; Thomes Gregory P., Rotatable and translatable spray nozzle.
상세보기
Sun, James J.; Liu, Benjamin Y. H., Scanning deposition head for depositing particles on a wafer.
상세보기
Achkire, Younes; Lerner, Alexander N; Govzman, Boris; Fishkin, Boris; Sugarman, Michael N; Mavliev, Rashid A; Fang, Haoquan; Li, Shijian; Shirazi, Guy E; Tang, Jianshe, Single wafer dryer and drying methods.
상세보기
Sato, Masanobu; Hirae, Sadao; Yasuda, Shuichi; Morinishi, Kenya, Substrate cleaning apparatus.
상세보기
Watanabe, Tsukasa; Shindo, Naoki; Ohno, Hiroki; Sekiguchi, Kenji, Substrate cleaning method, substrate cleaning apparatus, control program, and computer-readable storage medium.
상세보기
Patrin John C. ; Heitzinger John M., Treating substrates by producing and controlling a cryogenic aerosol.
상세보기
Borden Michael R. ; Kosic Thomas J. ; Bowers Charles W., Wafer cleaning using a laser and carbon dioxide snow.
상세보기

내보내기 메뉴

내보내기 구분

파일저장
인쇄
메일전송

구성항목

기본정보
상세정보

관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC

저장형식

Text(ASCII format)
Excel format
PIAS분석(.xls)

메일정보

받는사람 (필수): @
보내는사람 (선택): @
제목
내용: KISTI 검색결과 이메일 서비스

안내

총 건의 자료가 검색되었습니다.

다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000)

검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다.

데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요)

다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다.
파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오.

Text(ASCII format)
Excel format

AI-Helper ※ AI-Helper는 을 사용합니다.

AI-Helper

안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

연합인증

Aerosol cleaning method 원문보기

초록 ▼

대표청구항 ▼

연구과제 타임라인

이 특허를 인용한 특허 (28)

관련 콘텐츠

특허 원문 보기

IPC 상위 출원인

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
저장형식	Text(ASCII format) Excel format PIAS분석(.xls)
메일정보	받는사람 (필수) @ 보내는사람 (선택) @ 제목 내용 KISTI 검색결과 이메일 서비스
안내	총 건의 자료가 검색되었습니다. 다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000) 검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다. 데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요) 다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다. 파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오. ~ Text(ASCII format) Excel format

연합인증

Aerosol cleaning method 원문보기

초록 ▼

대표청구항 ▼

연구과제 타임라인

전체(0) 논문(0) 특허(0) 보고서(0)

전체(0) 논문(0) 특허(0) 보고서(0)

이 특허를 인용한 특허 (28)

관련 콘텐츠

특허 원문 보기

IPC 상위 출원인

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트