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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0053524 (1993-04-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 137 인용 특허 : 0 |
Disclosed are apparatuses and methods for improved processing of semiconductor wafers and the like using vapor phase processing chemicals, particularly aqueous hydrofluoric acid etchants. Homogeneous vapor mixtures are generated from homogeneous liquid mixtures. Means for recirculating, mixing and a
An apparatus for processing wafers, such as semiconductor wafers, magnetic disks, and optical disks, comprising: a framework; at least one processing bowl mounted to the framework; at least one chemical supply for supplying at least one processing chemical to said at least one processing bowl; at le
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