[특허]Process for removing gaseous hydrides from a solid support comprising metallic oxides

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Process for removing gaseous hydrides from a solid support comprising metallic oxides 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B01D-053/34
출원번호	US-0914215 (1992-07-16)
우선권정보	FR-0012448 (1989-09-22)
발명자 / 주소	Delobel Olivier (Paris FRX) Louise Jean (Villejuif FRX) Cornut Philippe (Echirolles FRX)
출원인 / 주소	L\Air Liquide, Societe Anonyme Pour l\Etude et l\Exploitation des Procedes Georges Claude (Paris FRX 07)
인용정보	피인용 횟수 : 16 인용 특허 : 0

초록 ▼

The invention concerns a process for removing gaseous hydrides from a solid support of metallic oxides, which consists in causing a gas flow to circulate, at room temperature, on a solid support comprising at least copper and chromium and having a specific area lower than or equal to 100 m2/g. This process may be used for the destruction of gaseous hydrides from the industry of semi-conductors, for example silanes, arsine, phosphine, diborane, germane, stannane, gallane, stibine, and hydrogen telluride, selenide and sulfide.

대표청구항 ▼

Process for removing gaseous inorganic hydrides from a gas stream, comprising circulating a gas flow containing from 1 to 10 volume % of the hydrides diluted in an inert gas, on a solid support consisting essentially of metallic oxides of copper, chromium, barium and manganese said manganese being present in an amount from 2.5 to 5 weight %, and having a specific area lower than or equal to 100 m2/g, said hydrides being selected from the group consisting of silanes, phosphine, diborane, germane, stannane, gallane, hydrogen telluride and hydrogen selenide.

이 특허를 인용한 특허 (16)

Chevalier Gilbert,FRX ; DuPont Pascal,FRX, Device for supplying a purified gas to a plant purged using this purified gas.
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Himelfarb, Paul B.; Bolinger, Cornelius Mark, Diene removal from an olefin feedstock.
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Nozawa Shigeyoshi,JPX ; Tomita Shinji,JPX, Gas recovery unit utilizing dual use of gas.
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Hayes, Michael W.; Holst, Mark R.; Arno, Jose I.; Tom, Glenn M., Integrated ion implant scrubber system.
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Sweeney,Joseph D.; Marganski,Paul J.; Olander,W. Karl, Method and apparatus for the abatement of toxic gas components from a semiconductor manufacturing process effluent stream.
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Murray,Brendan Dermont; Himelfarb,Paul Benjerman; Diaz,Zaida; Singleton,David Michael, Phosphorous removal and diene removal, when using diene sensitive catalyst, during conversion of olefins to branched primary alcohols.
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Li Yao-En ; Duchateau Eric L., Process and system for selective abatement of reactive gases and recovery of perfluorocompound gases.
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Li Yao-En ; Paganessi Joseph E. ; Vassallo David ; Fleming Gregory K., Process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases.
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Li Yao-En ; Paganessi Joseph E. ; Vassallo David ; Fleming Gregory K., Process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases.
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Li Yao-En ; Paganessi Jospeh E. ; Vassallo David ; Fleming Gregory K., Process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases.
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Li, Yao-En; Paganessi, Joseph E.; Vassallo, David; Fleming, Gregory K., Process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases.
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Yao-En Li ; Jospeh E. Paganessi ; David Vassallo ; Gregory K. Fleming, Process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases.
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Brendan Dermot Murray ; Zaida Diaz ; Glenn Charles Komplin, Removal of phosphorus-containing compounds from an olefin feedstock.
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Murray, Brendan Dermot; Singleton, David Michael; Diaz, Zaida, Removal of phosphorus-containing impurities from an olefin feedstock.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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