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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0209090 (1994-03-10) |
발명자 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 12 인용 특허 : 0 |
An integrated module with a heated reservoir to vaporize liquid for semiconductor processes with liquid sources is presented. Shut-off valves and a proportioning pressure valve for controlling the flow of the vapor from the reservoir are mounted on the module for simple conduction heating of the val
An integrated module for the delivery of chemical vapor from a liquid source through an inlet to a processing chamber of a processing unit for semiconductor wafers, said module comprising a metal housing defining a reservoir for holding a liquid from said source; a supply channel connecting said res
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