최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0161072 (1993-12-03) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 0 |
An apparatus for cleaning cylindrical surfaces includes a plurality of cleaning stations. Each cleaning station is designed to receive a substrate and includes a plurality of nozzles. The inlet end of each nozzle is connected to a source of liquid Carbon Dioxide, and the outlet end of each nozzle is
A method for cleaning a substrate comprising the steps of: placing the substrate in a cleaning station comprising at least one expansion chamber having an outlet; expanding liquid Carbon Dioxide within the expansion chamber from a source of Carbon Dioxide to generate particles of solid Carbon Dioxid
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.