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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0065656 (1993-05-21) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 68 인용 특허 : 0 |
A liquid precursor containing a metal is applied to a substrate, RTP baked, and annealed to form a layered superlattice material. Prebaking the substrate and oxygen in the RTP and anneal is essential, except for high bismuth content precursors. Excess bismuth between 110% and 140% of stoichiometry a
A method of fabricating a layered superlattice material comprising the steps of: providing a substrate, and a precursor containing metal moieties in effective amounts for yielding said layered superlattice material from said precursor: applying said precursor to said substrate; and rapid thermal pro
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