[특허]Multiple valve assembly and process

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	F16K-011/10
출원번호	US-0376550 (1995-01-23)
발명자 / 주소	Rench Michael E. (Garland TX) Schilling Ted D. (Rowlett TX)
출원인 / 주소	Texas Instruments Incorporated (Dallas TX 02)
인용정보	피인용 횟수 : 23 인용 특허 : 0

초록

A multiple valve assembly incorporates three valves in one valve body. The main body has inlet and outlet ports in the mainline, and two sample ports, one on either side of the main valve seat. The valves and sample ports are oriented in only two planes for easy installation and access.

대표청구항 ▼

A method for purging and vacuum testing a semiconductor process system, said system including a semiconductor processing chamber and a source of process gas, and said method comprising: providing a unitary tri-valve assembly, comprising a principal channel extending between an inlet port and an outlet port; a first valve for closing the principal channel between said inlet port and said outlet port; a second channel intersecting said principal channel between said inlet port and said first valve; a second valve for closing said second channel; a third channel intersecting said principal channel between said outlet port and said first valve; and a third valve for closing said third channel; connecting said tri-valve assembly between said processing chamber and said source of process gas, with said source of process gas connected to said inlet port and said outlet port connected to said processing chamber; closing said first valve to isolate said outlet port from said inlet port; with said first valve closed, connecting a vacuum pump to said second channel and opening said second valve to evacuate elements of said system upstream of said valve assembly inlet port; and with said first valve closed, connecting a source of purge gas to said third channel and opening said third valve to flow said purge gas to purge elements of said system downstream of said valve assembly outlet port.

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A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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