$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Method and apparatus for the step-by-step and automatic loading and unloading of a coating apparatus

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65G-057/00
출원번호 US-0267793 (1994-06-28)
우선권정보 DE-4340522 (1993-11-29)
발명자 / 주소
  • Kempf Stefan (Alzenau DEX)
출원인 / 주소
  • Leybold Aktiengesellschaft (Hanau DEX 03)
인용정보 피인용 횟수 : 27  인용 특허 : 0

초록

A first turntable (4) has a plurality of posts (6) equidistantly distributed and arranged in a circle on the turntable (4), wherein a plurality of substrates (7) can be stacked on each post (6). Stationary loading (9) and unloading stations (10 11) are provided and the distance between each pair of

대표청구항

Apparatus for transferring disk-shaped substrates to and from a coating station, said apparatus comprising a first turntable having a plurality of posts equidistantly distributed and arranged in a circle on the first turntable so that a plurality of disk-shaped substrates can be arranged on each pos

이 특허를 인용한 특허 (27)

  1. Lenz, Eric H., Airflow management for low particulate count in a process tool.
  2. Lenz, Eric H., Airflow management for low particulate count in a process tool.
  3. Baxter, Gregory R.; Jacobo, Victor M.; Pappas, William J., Apparatus and method for exposing substrates.
  4. Hendrickson Ruth Ann ; Van der Meulen Peter F., Apparatus and method for transporting substrates.
  5. Clarke, Darcy O.; Torina, James E.; Butt, Joel; Eastman, Glenn; Pawlawski, Stephen, Apparatus for delivering a container to a marking apparatus.
  6. Pfeiffer, Micahel W.; Johnson, Eric D., Assembly device for assembling components.
  7. Hansen Mark, Carousel pin stacker.
  8. Zejda Jaroslav,DEX, Conveying apparatus.
  9. Kempf Stefan,DEX, Device for transporting substrates.
  10. Nishimura Hironobu,JPX ; Naito Yoshihiko,JPX ; Mizutani Naozumi,JPX ; Kotoyori Masahiko,JPX ; Yamaguchi Katumi,JPX, Disk coating system.
  11. Allen Ronald ; Bae Peter S. ; Fukui Kenneth D. ; Oshiro Gen E., End effector and method for loading and unloading disks at a processing station.
  12. Lenz, Eric H., High throughput cleaner chamber.
  13. Ken Lee ; Ke Ling Lee ; Mingwei Jiang ; Robert M. Martinson, Horizontal sputtering system.
  14. Sowden,Harry S., Method and apparatus for transferring substrates.
  15. Clarke, Darcy O.; Torina, James E.; Butt, Joel; Eastman, Glenn; Pawlawski, Stephen, Method for delivering a container to a marking apparatus.
  16. Parslow ; Jr. Harold W., Non-linear chain belt type conveyor.
  17. Lenz, Eric H., Reduction of particle contamination produced by moving mechanisms in a process tool.
  18. Gardner Mark I. ; Gilmer Mark C., Semiconductor wafer, handling apparatus, and method.
  19. Lenz, Eric H., Substrate load and unload mechanisms for high throughput.
  20. Sakaue, Hiromitsu; Horiuchi, Takashi, Substrate processing method.
  21. Sakaue, Hiromitsu; Horiuchi, Takashi, Substrate processing system and substrate processing method.
  22. Kempf Stefan,DEX, Substrate transporting apparatus.
  23. Lee Ke Ling ; Mazur Mikhail ; Lee Ken ; Martinson Robert M., System and method for handling and masking a substrate in a sputter deposition system.
  24. Ke Ling Lee ; Mikhail Mazur ; Ken Lee ; Robert M. Martinson, System and method for transporting and sputter coating a substrate in a sputter deposition system.
  25. Averill Michael J. ; Karlyn William M., System for the printing of small flat objects using direct rotary printing apparatus.
  26. Voser, Stephan; Dovids, Gerhard, Vacuum treatment apparatus.
  27. Hollerich Donald, Vertical transport device for recording and verifying plastic disks.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트