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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0249121 (1994-05-25) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 54 인용 특허 : 0 |
A new process has been developed to achieve a very low SiOx/Si interface state density Dit, low recombination velocity S (eff (>5 ms) for oxides deposited on silicon substrates at low temperature. The technique involves direct plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD), with appropriate growt
A method for passivating a surface of crystalline silicon, comprising the steps of: forming an oxide layer over said crystalline silicon using a plasma enhanced chemical vapor deposition process; and lowering an interface state density associated with said silicon by heating said oxide layer and sai
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