$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Apparatus and method for generating steam

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F22B-001/28
출원번호 US-0273570 (1994-07-11)
발명자 / 주소
  • Davies John T. (El Sobrante CA) Egbert Stephen J. (Palo Alto CA) Wagar John R. (Bethel Island CA)
출원인 / 주소
  • GaSonics, Inc. (San Jose CA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 8  인용 특허 : 0

초록

Apparatus and method for generating steam free of silica-containing droplets. The apparatus makes use of the fractional distillation properties of water/quartz mixtures. At the moderately high pressures and corresponding boiling temperatures which are used in the apparatus, the steam generated from

대표청구항

A steam generator comprising: means defining a first chamber for receiving water to be heated to steam; means for directing water into the first chamber; means in the first chamber for heating the water therein to a temperature sufficient to convert the water into steam; means defining a second cham

이 특허를 인용한 특허 (8)

  1. Ridgeway Kent ; Ricker Richard B. ; Howard Robert W., Apparatus for generating a wet oxygen stream for a semiconductor processing furnace.
  2. Date, Milind Vishwas; Valiyambath Krishnan, Mohankumar, Apparatus for generating steam.
  3. Ling, Michael R., Ethanol continuous flow boiler.
  4. Nguyen Guy P. ; Edwards Carl, Flexible interpenetrating networks formed by epoxy-cyanate ester compositions via a polyamide.
  5. Weimer, Ronald A.; Hu, Yongjun Jeff; Pan, Pai Hung; Ratakonda, Deepa; Beck, James; Thakur, Randhir P. S., Forming a conductive structure in a semiconductor device.
  6. Kemp,Brendan; Nichols,Paul James, Pressurized steam boilers and their control.
  7. Powell,Richard M.; Hess,Bruce W., Steam generating method and apparatus for simulation test chambers.
  8. Naylor, Geoffrey, Vapor phase heaters.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트