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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0209227 (1994-03-11) |
발명자 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 27 인용 특허 : 0 |
An enclosed semiconductor wafer holder, and a cover providing isolation control of semiconductor wafers that is simple, lower cost, and non-obtrusive is described. The cover includes a sealing perimeter that creates a hermetic seal when engaged with the semiconductor wafer holder. The holder also in
An enclosure directly indexible to a process tool for securely containing semiconductor wafers, comprising: (a) a container having an open end, a lip extending around a perimeter of said open end, and a first means for sealing the open end of the container integral with the open end: (b) means for s
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