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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0047176 (1993-04-16) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 63 인용 특허 : 0 |
Amorphous diamond films having a significant reduction in intrinsic stress are prepared by biasing a substrate to be coated and depositing carbon ions thereon under controlled temperature conditions.
A method of coating a substrate with amorphous diamond comprising: (a.) cooling said substrate to room temperature or below; (b) biasing said substrate at a voltage between about -70 and -225 volts; and (c) condensing carbon ions having an energy of about 20 to 200 eV. onto said substrate to coat sa
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