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Cantilever and method of using same to detect features on a surface 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01B-007/34
출원번호 US-0238546 (1994-05-05)
발명자 / 주소
  • Albrecht Thomas (San Jose CA) Tortonese Marco (Stanford CA) Barrett Robert (Mountain View CA)
출원인 / 주소
  • The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University (Palo Alto CA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 29  인용 특허 : 0

초록 ▼

A microminiature cantilever structure is provided having a cantilever arm with a piezoresistive resistor embedded in at least the fixed end of the cantilever arm. Deflection of the free end of the cantilever arm produces stress in the base of the cantilever. That stress changes the piezoresistive re

대표청구항 ▼

A cantilever structure for use in an atomic force microscope, the cantilever structure comprising: a cantilever arm having a fixed end and a free end and a piezoresistive element included within the cantilever arm, deflection of the free end of the cantilever arm changing the resistance of the piezo

이 특허를 인용한 특허 (29)

  1. Sahin,Ozgur; Quate,Calvin F.; Solgaard,Olav, Atomic force microscope using a torsional harmonic cantilever.
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  2. Proksch, Roger; Callahan, Roger C.; Stetter, Frank; Limpoco, Ted; Hohlbach, Sophia; Bemis, Jason; Cleveland, Jason, Automated atomic force microscope and the operation thereof.
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  3. Proksch, Roger; Callahan, Roger C.; Stetter, Frank; Limpoco, Ted; Hohlbauch, Sophia; Bemis, Jason; Cleveland, Jason; Geiss, Nicholas, Automated atomic force microscope and the operation thereof.
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  4. Shivaram Bellave S. ; Chaparala Murali V. ; Jones Stephen H., Cantilever having sensor system for independent measurement of force and torque.
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  5. Porter, Timothy L.; Eastman, Michael P., Embedded piezoelectric microcantilever sensors.
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  6. Porter, Timothy L.; Eastman, Michael P., Embedded piezoelectric microcantilever sensors.
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  7. Porter,Timothy L.; Eastman,Michael P., Embedded piezoelectric microcantilever sensors.
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  8. Porter,Timothy L.; Eastman,Michael P., Embedded piezoelectric microcantilever sensors.
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  9. Workman,Richard K.; Hoen,Storrs T.; Clifford, Jr.,George M., Force method for determining the spring constant of scanning probe microscope cantilevers using MEMS actuators.
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  10. Sahin, Ozgur; Atalar, Abdullah; Quate, Calvin F.; Solgaard, Olav, Harmonic cantilevers and imaging methods for atomic force microscopy.
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  11. Sahin,Ozgur; Atalar,Abdullah; Quate,Calvin F.; Solgaard,Olav, Harmonic cantilevers and imaging methods for atomic force microscopy.
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  12. Proksch, Roger; Callahan, Roger, Material property measurements using multiple frequency atomic force microscopy.
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  13. Proksch, Roger; Callahan, Roger C., Material property measurements using multiple frequency atomic force microscopy.
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  14. Proksch, Roger; Callahan, Roger C., Material property measurements using multiple frequency atomic fore microscopy.
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  15. Brouillette Donald Walter ; Krywanczyk Timothy Charles ; Lasky Jerome Brett ; Mohler Rick Lawrence ; Rauscher Wolfgang Otto,DEX, Method of controlling stress in a film.
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  16. Popp, Shane M., Methods of interfacing nanomaterials for the monitoring and execution of pharmaceutical manufacturing processes.
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  17. Chui Benjamin W. ; Kenny Thomas W., Micromachined cantilever structure providing for independent multidimensional force sensing using high aspect ratio beam.
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  18. Proksch, Roger B, Multiple frequency atomic force microscopy.
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  19. Proksch, Roger B., Multiple frequency atomic force microscopy.
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  20. Raravikar, Nachiket R.; Panat, Rahul, Nanolithographic method of manufacturing an embedded passive device for a microelectronic application, and microelectronic device containing same.
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  21. Popp, Shane M., Pharmaceutical dosage forms fabricated with nanomaterials.
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  22. Stewart, Ray F., Phase change sensor.
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  23. Knupfer, Klaus, Scanning system having a deflectable probe tip.
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  24. Nobuhiro Shimizu JP; Yoshiharu Shirakawabe JP; Hiroshi Takahashi JP; Chiaki Yasumuro JP; Tadashi Arai JP, Self-exciting and self-detecting probe and scanning probe apparatus.
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  25. Su, Chanmin Quanmin; Magonov, Sergei, System for wide frequency dynamic nanomechanical analysis.
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  26. Proksch, Roger; Gannepalli, Anil, Thermal measurements using multiple frequency atomic force microscopy.
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  27. Proksch, Roger; Gannepalli, Anil, Thermal measurements using multiple frequency atomic force microscopy.
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  28. Sahin,Ozgur; Quate,Calvin F.; Solgaard,Olav, Torsional harmonic cantilevers for detection of high frequency force components in atomic force microscopy.
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  29. Sahin,Ozgur; Quate,Calvin F.; Solgaard,Olav, Torsional harmonic cantilevers for detection of high frequency force components in atomic force microscopy.
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