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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0233486 (1994-04-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 52 인용 특허 : 0 |
A device for providing micro positioning having an operating range in the submicron order in the X and Y directions, respectively. Positioning is achieved by a device which includes a driving section bonded to a silicon wafer for applying a driving force to excite vertical motion, and a mechanism fo
A micro actuator using vibration force as its driving force, comprising: a substrate; a piezo electric element connected to a top surface of said substrate, said piezo electric element having at least two electrodes; and a contact pin connected across said at least two electrodes and extending upwar
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