[특허]Method for fabricating spacer support structures useful in flat panel displays

Method for fabricating spacer support structures useful in flat panel displays 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B29D-011/00 B44C-001/22
출원번호	US-0322809 (1994-10-13)
발명자 / 주소	Fox III Angus C. (Boise ID)
출원인 / 주소	Micron Technology, Inc. (Boise ID 02)
인용정보	피인용 횟수 : 25 인용 특허 : 0

초록 ▼

A method is provided for forming inter-electrode spacers useful in flat panel display devices which comprises placing a mold on a first electrode plate. The mold has openings with corresponding diameters. The mold is coated with a conformal film which lines the openings, thereby decreasing the diameters of the openings. The openings are filled with a glass material. The conformal film is selectively removed, and the mold is separated from the electrode.

대표청구항 ▼

A method for fabricating columnar supports used for an evacuated display, said method comprising the following steps: providing a laminate, said laminate having upper and lower major surfaces; punching a plurality of holes through said laminate, each of said holes being disposed normal to said major surfaces of said laminate, each of said holes having a diameter; disposing a sacrificial layer about said laminate which conformally coats said major surfaces and substantially all of said holes, thereby reducing said diameter of said holes; filling said holes with a dielectric material, thereby forming the columnar supports, etching at least a portion of said sacrificial layer from said lower major surface, thereby exposing at least a portion of the columnar supports; disposing a high-temperature adhesive to said exposed portions of the columnar supports; aligning and affixing said exposed portion of the columnar supports to a location on a baseplate; substantially removing said sacrificial layer; and removing said laminate, thereby exposing the columnar supports.

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