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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0407760 (1995-03-21) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 30 인용 특허 : 0 |
A liquid precursor containing a metal is applied to a first electrode, RTP baked at a temperature of 700°C., and annealed at the same temperature for from 3 to 5 hours to form a layered superlattice material. A second electrode is formed to form a capacitor, and a second anneal is performed at a tem
A method of fabricating a layered superlattice material comprising: providing a substrate, and a precursor containing metal moieties in effective amounts for spontaneously forming a layered superlattice material upon heating said precursor; applying said precursor to said substrate; and heating said
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