[특허]Method and apparatus for cryopump regeneration using turbomolecular pump

Method and apparatus for cryopump regeneration using turbomolecular pump 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B01D-008/00
출원번호	US-0225049 (1994-04-08)
발명자 / 주소	deRijke Johan E. (Cupertino CA)
출원인 / 주소	Ebara Technologies Incorporated (Santa Clara CA 02)
인용정보	피인용 횟수 : 45 인용 특허 : 0

초록 ▼

Methods and apparatus for partial regeneration of a cryopump are provided. The cyropump includes first and second stage cryoarrays, a refrigerator for cooling the first and second stage cryoarrays, and typically includes a sorbent material for removing gases by cryosorption. The second stage cryoarray is heated from its operating temperature to a partial regeneration temperature range selected to liberate captured gas from the second stage cryoarray and to retain condensed water vapor on the first stage cryoarray. The partial regeneration temperature range is preferably 100K to 160K and is more preferably 120K to 140K. When the second stage cryoarray has a temperature within the partial regeneration temperature range, gas liberated from the second stage cryoarray is pumped with a turbomolecular pump in fluid communication with the cryopump. The turbomolecular pump removes liberated gases from the cryopump at high speeds and produces a low pressure in the cryopump. As a result, the tendency for contamination of the sorbent material is low.

대표청구항 ▼

Apparatus for vacuum pumping an enclosed chamber comprising: a cryogenic pumping device having first and second stage cryoarrays and a refrigerator for cooling said first and second cryoarrays during an operating cycle, said pumping device adapted to be in fluid communication with the chamber for removing gases from the chamber during said operating cycle; means for heating said second stage cryoarray, during a partial regeneration cycle, from its operating temperature to a partial regeneration temperature range selected to liberate captured gas from said second stage cryoarray and to retain condensed water vapor on said first stage cryoarray; a turbomolecular pump in fluid communication with the cryogenic pumping device for pumping gas liberated from said second stage cryoarray during said partial regeneration cycle; means for activating said turbomolecular pump during said partial regeneration cycle when said second stage cryoarray has a temperature within said partial regeneration temperature range; and means for regulating the temperature of said first and second stage cryoarrays within said partial regeneration temperature range when said turbomolecular pump is pumping gas from said cryogenic pumping device during said partial regeneration cycle.

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A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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