[특허]Filtering and dispensing system

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	F04B-039/10
출원번호	US-0285662 (1994-08-03)
발명자 / 주소	Bailey David C. (San Jose CA) Raphael Ian R. (Campbell CA)
출원인 / 주소	Cybor Corporation (San Jose CA 02)
인용정보	피인용 횟수 : 58 인용 특허 : 0

초록 ▼

A liquid pumping and filtering system for use in dispensing materials such as photoresist used to make semiconductors. A positive displacement diaphragm pump is used to draw source liquid from a source bottle. A pump valve is activated to direct fluid from the pump to a main dispensing line which includes a filter. A suckback line bridges the dispense line. The suckback line and the dispense line are each connected to a final dispense line, and the flow of liquid is controlled by a filter valve, which alternative causes fluid to flow through the suckback line or the dispense line, depending upon the mode of operation of the system. The use of an independent suckback line allows the quick withdrawal of fluid away from the dispense nozzle in the final dispense line. As a result, liquid in the dispensing line on opposite sides of the filter is generally maintained at constant pressure. Air bubbles trapped in the filter, which are generally unavoidable because of the construction thereof, are not allowed to expand and therefore do not distort measurements of liquid being dispensed.

대표청구항 ▼

A pumping and filtering system comprising: a pump for driving a liquid to be dispensed, a conduit for conveying said liquid from said pump to an exit port, a filter in said conduit and between said pump and said exit port for limiting flow of impurities to said exit port, a control valve for maintaining pressure on liquid in said conduit, said control valve disposed between said filter and said exit port, a main check valve disposed between said pump and said filter, said control valve disposed in said conduit on an opposite side of said filter from said main check valve, said main check valve tending to prevent flow of liquid in said conduit toward said pump, a suckback conduit extending from said control valve to a point in said conduit between said pump and said main check valve, said suckback conduit including a suckback check valve tending to prevent flow of liquid in said suckback conduit toward said control valve.

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A	생활필수품
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A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
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