[특허]Ion beam deposition of diamond-like carbon films

Ion beam deposition of diamond-like carbon films 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C23C-014/48 B05D-003/06
출원번호	US-0422003 (1995-04-12)
우선권정보	AM-0321491 (1991-12-23)
발명자 / 주소	Huck Hugo A. (Buenos Aires ARX) Jech Alberto E. (Buenos Aires ARX) Righini Raul (Buenos Aires ARX)
출원인 / 주소	Comision Nacional de Energia Atomica (Buenos Aires ARX 07)
인용정보	피인용 횟수 : 36 인용 특허 : 0

초록 ▼

A process forms an amorphous carbon film over a solid, which film has physical and chemical properties similar to those of diamond. Its ancillary objects are the solid bodies so coated and the self-sustained film obtained in a subsequent stage of dissolution of said substrate. The process includes generating a highly accelerated beam of carbon-hydrogenated ions, which beam is made to impact with sufficiently high energy on the surface of the substrate. The beam is concentrated by electrostatic lenses and homogenized by a magnetic mass separator. The process forms on a solid substrate, a film with properties similar to those of diamond, such as high hardness, high chemical stability, transparency, high heat conductivity and high electric resistivity; obtainable at ambient temperature, and which is simpler than known procedures.

대표청구항 ▼

A process for forming on a solid substrate, a film of diamond-like carbon at ambient temperature, comprising the following steps: a) cleaning and degreasing the outer surfaces of said solid substrate; b) introducing said substrate, in a first chamber, which said chamber is substantially at ground potential, with a layout which also includes an ion source at a higher positive voltage as compared to the ground, the voltage variable between 1 and 70 KeV, and a path between said ion source and said first chamber in which are located, at least, one set of electrostatic lenses and one magnetic mass separator; c) creating a vacuum in said layout, on an order of 10-5 mbar; d) generating a first ion beam of C+, or CHn+where n5 in said ion source, at a high positive voltage as compared to said ground; e) forming and concentrating said first ion beam with said set of electrostatic lenses; f) homogenizing said first beam with said magnetic mass separator, capable of deviating any undesired ions, and obtaining a second beam with carbon-hydrogenated ions consisting of C+and Cn+, where n5 ions; and g) subsequently applying only said second homogenized ion beam in said mass separator on the surface of said substrate, until said substrate is covered with said film of diamond-like carbon, wherein said ions of said second beam have an energy on the order of 30 keV, arising from the acceleration caused by the higher positive voltage as compared to ground the voltage variable being between 1 and 70 keV.

이 특허를 인용한 특허 (36)

Derderian, Garo J.; Sandhu, Gurtej S., Apparatus for improved delivery of metastable species.
상세보기
Pai Chien-Shing ; Zhu Wei, Article comprising fluorinated diamond-like carbon and method for fabricating article.
상세보기
Campbell, Philip H.; Carpenter, Craig M.; Dando, Ross S.; Hamer, Kevin T., CVD apparatuses and methods of forming a layer over a semiconductor substrate.
상세보기
Campbell, Philip H.; Carpenter, Craig M.; Dando, Ross S.; Hamer, Kevin T., CVD apparatuses and methods of forming a layer over a semiconductor substrate.
상세보기
Veerasamy Vijayen S. ; Petrmichl Rudolph Hugo ; Thomsen Scott V., Coated article including a DLC inclusive layer(s) and a layer(s) deposited using siloxane gas, and corresponding method.
상세보기
Derderian,Garo J.; Sandhu,Gurtej S., Deposition methods for improved delivery of metastable species.
상세보기
Schaepkens, Marc; Flanagan, Kevin, Diffusion barrier coatings having graded compositions and devices incorporating the same.
상세보기
Liu, Wei; Swenberg, Johanes S.; Nguyen, Hanh D.; Nguyen, Son T.; Curtis, Roger; Bottini, Philip A., Dual zone gas injection nozzle.
상세보기
Boman,Mats; Nilsson,Jan Åke; ？hman,Kjell; Schleimann Jensen,Johan, Gas discharge tube having electrodes with chemically inert surface.
상세보기
Kajiwara, Yuki, Gas nozzle and plasma device employing same.
상세보기
Veerasamy Vijayen S., Highly tetrahedral amorphous carbon coating on glass.
상세보기
Veerasamy Vijayen S., Highly tetrahedral amorphous carbon coating on glass.
상세보기
Veerasamy, Vijayen S., Highly tetrahedral amorphous carbon coating on glass.
상세보기
Veerasamy Vijayen S. ; Petrmichl Rudolph Hugo ; Thomsen Scott V., Hydrophobic coating including DLC and/or FAS on substrate.
상세보기
Vijayen S. Veerasamy, Hydrophobic coating including DLC on substrate.
상세보기
Veerasamy Vijayen S. ; Petrmichl Rudolph Hugo, Hydrophobic coating with DLC & FAS on substrate.
상세보기
Kurosawa Miki,JPX, Laser machining apparatus.
상세보기
Vijayen S. Veerasamy ; Rudolph Hugo Petrmichl ; Scott V. Thomsen, Low-E coating system including protective DLC.
상세보기
Ma Xiaoding ; Grannen Kevin J. ; Gui Jing ; McCann Jeffrey A. ; Shows Mark A., Magnetic recording medium having a nitrogen-doped hydrogenated carbon protective overcoat.
상세보기
Vijayen S. Veerasamy ; Rudolph Hugo Petrmichl, Method of depositing DLC inclusive coating on substrate.
상세보기
Veerasamy, Vijayen S.; Thomsen, Scott V., Method of depositing DLC on substrate.
상세보기
Vijayen S. Veerasamy ; Rudolph Hugo Petrmichl ; Scott V. Thomsen, Method of deposition DLC inclusive layer(s) using hydrocarbon and/or siloxane gas(es).
상세보기
Veerasamy, Vijayen S.; Petrmichl, Rudolph Hugo, Method of ion beam milling a glass substrate prior to depositing a coating system thereon, and corresponding system for carrying out the same.
상세보기
Vijayen S. Veerasamy ; Rudolph Hugo Petrmichl, Method of ion beam milling substrate prior to depositing diamond like carbon layer thereon.
상세보기
Veerasamy, Vijayen S.; Petrmichl, Rudolph Hugo, Method of making a coated article including DLC and FAS.
상세보기
Veerasamy, Vijayen S.; Petrmichl, Rudolph Hugo; Thomsen, Scott V., Method of making coated article including DLC inclusive layer over low-E coating.
상세보기
Vijayen S. Veerasamy ; Rudolph Hugo Petrmichl ; Scott V. Thomsen, Method of making coated article including diamond-like carbon (DLC) and FAS.
상세보기
Veerasamy, Vijayen S., Method of making coated article including layer(s) of diamond-like carbon which may be hydrophobic.
상세보기
Veerasamy, Vijayen S., Method of making coating article including carbon coating on glass.
상세보기
Veerasamy,Vijayen S., Method of making heat treatable coated article with diamond-like carbon (DLC) inclusive layer.
상세보기
Veerasamy, Vijayen S., Method of making heat treatable coated article with protective layer.
상세보기
Basceri,Cem, Methods of gas delivery for deposition processes and methods of depositing material on a substrate.
상세보기
Ma, Xiaoding; Grannen, Kevin J.; Gui, Jing; McCann, Jeffrey A.; Shows, Mark A., Nitrogen-doped hydrogenated carbon films by ion beam deposition.
상세보기
Veerasamy, Vijayen S.; Petrmichl, Rudolph Hugo; Thomsen, Scott V., Solar management coating system including protective DLC.
상세보기
Vijayen S. Veerasamy ; Rudolph Hugo Petrmichl ; Scott V. Thomsen, Solar management coating system including protective DLC.
상세보기
Ma,Xiaoding; Grannen,Kevin J.; Gui,Jing; McCann,Jeffrey A.; Shows,Mark A., Thin-film magnetic recording media with dual intermediate layer structure for increased coercivity.
상세보기

내보내기 메뉴

내보내기 구분

파일저장
인쇄
메일전송

구성항목

기본정보
상세정보

관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC

저장형식

Text(ASCII format)
Excel format
PIAS분석(.xls)

메일정보

받는사람 (필수): @
보내는사람 (선택): @
제목
내용: KISTI 검색결과 이메일 서비스

안내

총 건의 자료가 검색되었습니다.

다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000)

검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다.

데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요)

다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다.
파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오.

Text(ASCII format)
Excel format

AI-Helper ※ AI-Helper는 을 사용합니다.

AI-Helper

안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

연합인증

Ion beam deposition of diamond-like carbon films 원문보기

초록 ▼

대표청구항 ▼

연구과제 타임라인

이 특허를 인용한 특허 (36)

관련 콘텐츠

특허 원문 보기

IPC 상위 출원인

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
저장형식	Text(ASCII format) Excel format PIAS분석(.xls)
메일정보	받는사람 (필수) @ 보내는사람 (선택) @ 제목 내용 KISTI 검색결과 이메일 서비스
안내	총 건의 자료가 검색되었습니다. 다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000) 검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다. 데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요) 다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다. 파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오. ~ Text(ASCII format) Excel format

연합인증

Ion beam deposition of diamond-like carbon films 원문보기

초록 ▼

대표청구항 ▼

연구과제 타임라인

전체(0) 논문(0) 특허(0) 보고서(0)

전체(0) 논문(0) 특허(0) 보고서(0)

이 특허를 인용한 특허 (36)

관련 콘텐츠

특허 원문 보기

IPC 상위 출원인

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트