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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0374000 (1995-01-17) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 31 인용 특허 : 0 |
Liquid chemical supply ampules, commonly called “bubblers”, which are used in semiconductor and fiber optic component production lines are automatically refilled without the need to interrupt operation of the production lines. The bubbler ampules utilize a supply of the liquid chemicals from which t
A system for transferring liquid chemicals from a bulk supply thereof to a chemical application station, said system comprising: a) a plurality of pressurized bulk chemical supply tanks; b) a volume sensor associated with each of said bulk chemical supply tanks, said volume sensors being operable to
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