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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0476052 (1995-06-07) |
우선권정보 | JP-0356752 (1992-12-21); JP-0151160 (1993-05-27) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 153 인용 특허 : 0 |
A substrate processing apparatus comprises a processing part and a transferring part. In the processing part there are a plurality of stages in which a plurality of processing units are arranged in a row along a horizontal direction and the stages are arranged in a stack vertically. Thus, the proces
A substrate processing apparatus for transferring and processing substrates having plate configurations, said apparatus comprising: processing means including a plurality of processing units for processing each of said substrates serially one by one, each of said processing units processing said sub
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