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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0436251 (1995-05-17) |
국제출원번호 | PCT/DE93/00048 (1993-01-19) |
§371/§102 date | 1995May1 (1995May1) |
국제공개번호 | WO-9417383 (1994-08-04) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 12 인용 특허 : 0 |
A pressure sensor comprises a substrate and a layer defining together with said substrate a pressure sensor cavity, said layer including a diaphragmlike area which is adapted to be acted upon by an external pressure. A micro-miniaturizable pressure sensor of the above-mentioned type, which is used f
A pressure sensor comprising a substrate, and a first layer of relatively uniform thickness deposited on said substrate and defining a cavity, said layer including above said cavity a diaphragm like area which is adapted to be acted upon by a pressure prevailing outside of said cavity, a channel whi
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