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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0366468 (1994-12-30) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 7 인용 특허 : 2 |
A process for distributing ultra high purity gases with minimized contamination and particulates including; (a) purging said distribution network or any part thereof with dry inert high purity gas comprising less than 1 ppm of any impurity; (b) evacuating said distribution network or any part thereo
A process for distributing ultra high purity gases in a gas distribution network with minimized contamination and particulates, comprising the steps of: (a) purging said distribution network or any part thereof with dry inert high purity gas comprising less than 1 ppm of any impurity; (b) evacuating
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