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특허 상세정보

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Diamond/carbon/carbon composite useful as an integral dielectric heat sink

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) C23C-016/26   
미국특허분류(USC) 428/408 ; 428/457 ; 428/367 ; 428/368
출원번호 US-0332903 (1994-11-01)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
인용정보 피인용 횟수 : 38  인용 특허 : 0
초록
▼

A diamond/carbon/carbon composite is provided comprising a carbon/carbon composite having a polycrystalline diamond film deposited thereon. The carbon/carbon composite comprises a preform of interwoven carbon fibers comprising vapor grown carbon fibers. The preferred method of producing the composite involves chemical vapor infiltration of the pyrolytic carbon into the interstices of the preform, followed by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition of the diamond film on the carbon/carbon composite. The resulting diamond/carbon/carbon composit...

대표
청구항

A diamond/carbon/carbon composite comprising: a carbon/carbon composite comprising a preform of interwoven vapor grown carbon fibers having interstices therein and having pyrolytic carbon deposited into interstices of said preform; and a polycrystalline diamond coating directly on said carbon/carbon composite forming a polycrystalline diamond film, whereby said polycrystalline diamond coating partially infiltrates the surface of said carbon/carbon composite.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 38

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