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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0401048 (1995-03-08) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 294 인용 특허 : 65 |
The present invention relates to micro-mechanical devices including actuators, motors and sensors with improved operating characteristics. A micro-mechanical device (10) comprising a DMD-type spatial light modulator with a getter (100) located within the package (52). The getter (100) is preferably
A micro-mechanical device including a first element selectively movable relative to a second element, portions of the elements contacting in one position of the first element, the device comprising: (a) a deposit of a surface energy-decreasing material on at least that portion of the second element
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