[특허]Method of making flip-chip microwave integrated circuit

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Method of making flip-chip microwave integrated circuit 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H01L-021/60
출원번호	US-0473621 (1995-06-07)
발명자 / 주소	Tserng Hua Q. (Dallas TX) Saunier Paul (Garland TX)
출원인 / 주소	Texas Instruments Incorporated (Dallas TX 02)
인용정보	피인용 횟수 : 12 인용 특허 : 6

초록

A flip-chip integrated circuit having passive 302, 304, 306 as well as active 308, 310 components on a frontside surface of a substrate. The active devices have airbridges which contact a heatsink to provide heat dissipation from the junctions of the devices.

대표청구항 ▼

A method of fabricating an integrated circuit, comprising the steps of: (a) forming at least one transistor at a frontside surface of a substrate, said transistor comprising an airbridge over said frontside transistor; (b) forming at least one passive component at said frontside surface; (c) forming dielectric over said passive component such that a surface of said dielectric is substantially planar with said airbridge; (d) contacting a heatsink with said airbridge.

이 특허에 인용된 특허 (6)

Prasad Jayasimha S. (Tigard OR) Park Song W. (Aloha OR) Vetanen William A. (Sherwood OR) Beers Irene G. (Sherwood OR) Haynes Curtis M. (Portland OR), Implant-free heterojunction bioplar transistor integrated circuit process.
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Tanino Noriyuki (Itami JPX), Microwave integrated circuit having a passive circuit substrate mounted on a semiconductor circuit substrate.
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Honjo Kazuhiko (Tokyo JPX), Monolithic integrated circuit device.
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Sato Hiroya (Tenri JPX), Multilayer vertical transistor having an overlay electrode connected to the top layer of the transistor and to the trans.
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Legros Patrick (Paris FRX), Power semiconductor component.
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Lemnios Zachary J. (Colorado Springs CO) McIntyre David G. (Colorado Springs CO) Lau Chung-Lim (Colorado Springs CO) Williams Dennis A. (Colorado Springs CO), Three metal personalization of application specific monolithic microwave integrated circuit.
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이 특허를 인용한 특허 (12)

Goren, Yehuda G.; Chen, Tong, Asymmetrical slow wave structures to eliminate backward wave oscillations in wideband traveling wave tubes.
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Robert Cook ; Stephen E. Greco ; John P. Hummel ; Joyce Liu ; Vincent J. McGahay ; Rebecca Mih ; Kamalesh Srivastava, Interim oxidation of silsesquioxane dielectric for dual damascene process.
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Chen, Tong; Chai, Suchet P., Microwave device and method for making same.
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Saunier, Paul, Monolithic microwave integrated circuit with diamond layer.
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Chen, Tong, Multi-substrate layer semiconductor packages and method for making same.
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Williams, Anthony David, Noise canceling technique for frequency synthesizer.
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Walker, Jay S.; Tedesco, Daniel E.; Alderucci, Dean P., Products and processes for managing the prices of vending machine inventory.
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Walker, Jay S.; Breitenbach, Paul T.; Tedesco, Daniel E.; Lee, Sih Y.; Signorelli, Paul D.; Gelman, Geoffrey M.; Jorasch, James A., Products and processes for vending a plurality of products.
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Klose Helmut,DEX ; Weber Werner,DEX ; Bertagnolli Emmerich,DEX ; Koppe Siegmar,DEX ; Hubner Holger,DEX, Semiconductor component for vertical integration and manufacturing method.
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Goren, Yehuda G.; Lally, Philip M., Slow wave structure having offset projections comprised of a metal-dielectric composite stack.
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Libman, Richard Marc, System and method for automated generation of communications involving products or services.
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Libman, Richard M., System for facilitating production of variable offer communications.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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