[특허]Method of forming a semiconductor strain sensor

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H01L-021/77
출원번호	US-0284292 (1994-08-02)
우선권정보	JP-0029863 (1990-02-08)
발명자 / 주소	Fukada Tsuyoshi (Kariya JPX)
출원인 / 주소	Nippondenso Co., Ltd. (Kariya JPX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 12 인용 특허 : 0

초록 ▼

In a semiconductor strain sensor, for example, using resistors of a polycrystalline semiconductor material such as polycrystalline silicon as strain gauges, the sum of the temperature coefficient of resistance (TCR) of the resistor and the temperature coefficient of strain sensitivity (TCK) is adjusted not by controlling the impurity carrier concentration but by controlling the resistivity, thereby an output fluctuation due to a change in the temperature can be suppressed.

대표청구항 ▼

A method of forming a temperature coefficient of strain sensitivity (TCK) compensated semiconductor strain sensor including a detection circuit, said method comprising the steps of: forming a polycrystalline silicon resistor film including grains of a crystal on an insulative substrate at a stress receiving region of said insulative substrate, said polycrystalline silicon resistor film having a piezoelectric effect and being formed to have a thickness of less than 0.4 m0.4 m1.9×10-3 and 3.9×10-3 W

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Nagasaka,Hiroshi; Yoshida,Naoki; Kodama,Hiroshi, Apparatus for detecting an amount of strain and method for manufacturing same.
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Okojie, Robert S.; Fralick, Gustave C.; Saad, George J., Method of assembling a silicon carbide high temperature anemometer.
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Gross,Chris, Method of making pressure transducer and apparatus.
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Miyashita Satoru,JPX ; Shinozuka Masakazu,JPX ; Sumi Kouji,JPX ; Murai Masami,JPX ; Takahashi Tetsushi,JPX, Piezoelectric thin film, method for producing the same, and ink jet recording head using the thin film.
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Toyoda, Inao; Yoshida, Takahiko; Oda, Kiyonari, Semiconductor pressure sensor decreasing creep stress in <110> crystalline axis direction.
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Yamada, Nobuyuki; Sakuragi, Masahiro; Yoshida, Takeshi; Hayashi, Kei, Semiconductor pressure sensor, pressure sensor apparatus, electronic equipment, and method of manufacturing semiconductor pressure sensor.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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