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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0377018 (1995-01-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 123 인용 특허 : 9 |
A surface micromachined micromagnetic actuator is provided with a flap capable of achieving large deflections above 100 microns using magnetic force as the actuating force. The flap is coupled by one or more beams to a substrate and is cantilevered over the substrate. A Permalloy layer or a magnetic
An improvement in a method of fabricating a microelectromagnetic magnetic actuator, said improvement comprising: providing a substantially completed microelectromechanical magnetic actuator on a sacrificial layer disposed on an underlying substrate; removing said sacrificial layer upon which said mi
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