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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0356675 (1994-12-15) |
우선권정보 | JP-0342848 (1993-12-15) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 49 인용 특허 : 2 |
A multilevel interconnection structure for semiconductor integrated circuits has five or more multiple interconnection layers, each of which includes a plurality of interconnections, wherein the lower level interconnections included in first to third interconnection layers form the lowest level inte
A multilevel interconnection structure for semiconductor integrated circuits, said structure comprising at least five interconnection layer levels, each of said layers including interconnections at each level, wherein first, second and third lowest level interconnections have a first uniform pitch a
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