[특허]Barrier seal for electrostatic chuck

Barrier seal for electrostatic chuck 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H02N-013/00
출원번호	US-0439010 (1995-05-11)
발명자 / 주소	Salfelder Joseph (Williston VT) Grimard Dennis (Ann Arbor MI) Cameron John F. (Los Altos CA) Deshpandey Chandra (Fremont CA) Ryan Robert (Sunnyvale CA) Chafin Michael G. (Underhill VT)
출원인 / 주소	Applied Materials, Inc. (Santa Clara CA 02)
인용정보	피인용 횟수 : 41 인용 특허 : 0

초록 ▼

An erosion resistant electrostatic chuck 20 for holding a substrate 45 having a peripheral edge 50, in an erosive environment, comprises an electrostatic member 25 including (i) an electrode 30, and (ii) an insulator 35 covering the electrode. A barrier 55 is circumferentially disposed about the electrostatic member 25. The barrier 55 comprises a first contact surface 60 capable of being pressed against the peripheral edge 50 of the substrate 45 to form a seal around the substrate 45 to reduce exposure of the electrostatic member 25 of the chuck 20 to the erosive environment.

대표청구항 ▼

An erosion resistant electrostatic chuck for holding a substrate having a peripheral edge, in an erosive environment, the chuck comprising: (a) an electrostatic member for electrostatically holding the substrate, the electrostatic member comprising (i) an electrode, and (ii) an insulator covering the electrode; and (b) a barrier circumferentially disposed about the electrostatic member, the barrier comprising (i) a planar base suitable for resting on the periphery of the support, and (ii) an arm extending upwardly from the base, the arm comprising a first contact surface capable of being conformally pressed against the peripheral edge of the substrate to form a seal between the substrate and the support to reduce exposure of the electrostatic member to the erosive environment.

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