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Method to detect non-spherical particles using orthogonally polarized light 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01N-015/06
출원번호 US-0421572 (1995-04-11)
발명자 / 주소
  • Burghard Raymond (Bow NH) Aqui Derek (San Jose CA) Borden Peter (San Mateo CA)
출원인 / 주소
  • High Yield Technology, Inc. (Sunnyvale CA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 18  인용 특허 : 6

초록 ▼

A structure and a method provide a quasi bright field particle sensor for the detection of non-spherical particles, using a laser beam of predetermined polarization. A phase shift caused by non-spherical particles passing through the laser beam is utilized to detect the presence of such particles. I

대표청구항

A system comprising: a process chamber; and a particle monitor that uses a linearly-polarized laser beam to detect the concentration of non-spherical particles in said chamber.

이 특허에 인용된 특허 (6)

  1. Borden Peter (Palo Alto CA) Nokes Mark (Palo Alto CA) Kain Maurits (Redwood City CA) Stolz James (Milpitas CA), High sensitivity, large detection area particle sensor for vacuum applications.
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  2. Aqui Derek G. (San Jose CA) Borden Peter G. (San Mateo CA), In situ real time particle monitor for a sputter coater chamber.
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  3. Buchhave Preben (Birkerod DKX) Knuhtsen John (Virum DKX) Olldag Peder E. S. (Humlebaek DKX), Laser-doppler-apparatus for determining the size of moving spherical particles in a fluid flow.
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  4. Batchelder, John S.; Taubenblatt, Marc A., Measurement of size and refractive index of particles using the complex forward-scattered electromagnetic field.
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  5. Cole Reagan (Little Rock AR), Method and apparatus for particle analysis.
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  6. Batchelder John S. (Somers NY) DeCain Donald M. (New York NY) Hobbs Philip C. D. (Briarcliff Manor NY) Taubenblatt Marc A. (Pleasantville NY), Particle path determination system.
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이 특허를 인용한 특허 (18)

  1. Lee Tzong-Shyng, Apparatus and method for measurement of a liquid droplet.
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  2. Prelewitz,David F., Hydrocarbon fluid analysis module.
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  3. Tsay, Jenq-Yann; Chuang, Jeng-Chiang; Yen, Chih-Pen; Hsu, Yung-Mao, Method and apparatus for early detection of material accretion and peeling in plasma system.
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  4. Hunter, Reginald, Method and apparatus for embedded substrate and system status monitoring.
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  5. Hunter, Reginald, Method and apparatus for enhanced embedded substrate inspection through process data collection and substrate imaging techniques.
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  6. Batson, Don T.; Hunter, Reginald, Method and apparatus for substrate imaging.
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  7. Hunter, Reginald, Method and apparatus for substrate surface inspection using spectral profiling techniques.
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  8. Hunter, Reginald, Method and apparatus to provide embedded substrate process monitoring through consolidation of multiple process inspection techniques.
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  9. Hunter,Reginald, Method and apparatus to provide for automated process verification and hierarchical substrate examination.
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  10. Rossman, Kent; Olmer, Leonard Jay; Nguyen, Phillip, Method for using an in situ particle sensor for monitoring particle performance in plasma deposition processes.
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  11. Rising Bruce W., Method, gas turbine, and combustor apparatus for sensing fuel quality.
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  12. Tatoh, Nobuyoshi; Iwamoto, Hiromi; Hirose, Takaaki, Optical communication module having a constant plane of polarization of transmitted light.
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  13. Padmanabhan,Aravind; Fritz,Bernard S., Optical detection system with polarizing beamsplitter.
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  14. Hunter, Reginald, Optical signal routing method and apparatus providing multiple inspection collection points on semiconductor manufacturing systems.
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  15. Hunter, Reginald, Particle detection and embedded vision system to enhance substrate yield and throughput.
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  16. Hunter, Reginald; Tsadka, Sagie, Particle detection and embedded vision system to enhance substrate yield and throughput.
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  17. Bonin, Michel P.; Stibbich, Aaron; Holve, Donald J., Signal processing method for in-situ, scanned-beam particle monitoring.
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  18. Fergenson, David Philip, System and method for real time determination of size and chemical composition of aerosol particles.
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