[특허]Precision-controlled slit mechanism for electron microscope

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H01J-049/44
출원번호	US-0519535 (1995-08-25)
발명자 / 주소	Krivanek Ondrej L. (Lafayette CA)
출원인 / 주소	Gatan, Inc. (Pleasanton CA 02)
인용정보	피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 7

초록 ▼

A precision-controlled slit mechanism having an adjustable width which is both accurate and reproducible is provided for apparatuses which are designed to exclude portions of an energy spectrum prior to analysis such as energy-selected imaging filters in electron microscopes. The slit mechanism includes a pair of slit halves, a light source for directing light between the slit halves, a detector for measuring the intensity of light passing from the light source through the slit halves, and an actuator for adjusting the width of the opening between the slit halves in response to the intensity of light measured by the detector.

대표청구항 ▼

An adjustable slit mechanism for use in an apparatus for analysis of an energy spectrum comprising: an energy spectrum passing through said mechanism; a pair of slit halves; a light source for directing light between said slit halves; a first detector for measuring the intensity of light passing from said light source through said slit halves; a second detector for detecting said energy spectrum passing through said mechanism; and an actuator for adjusting the width of the opening between said slit halves in response to the intensity of light measured by said first detector and for selecting a portion of said energy spectrum which reaches said second detector.

이 특허에 인용된 특허 (7)

Le Poole Jan B. (Tucson AZ) Van der Mast Karel D. (Pijnacker NLX), Apparatus for energy-selective visualization.
상세보기
Krivanek Ondrej L. (Oakland CA), Cooled CCD camera for an electron microscope.
상세보기
Krivanek Ondrej L. (Oakland CA), Energy-selected electron imaging filter.
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Freeman James Harry (Abingdon EN), Ion beam separators.
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Hanada Koji (Tokyo JPX), Method of controlling size of light beam pulses used to form respective plural pixels on a print medium.
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Gordon Eugene I. (Mountainside NJ), Periodically alternating path and alternating wavelength bridges for quantitative and ultrasensitive measurement of vapo.
상세보기
Sugimori Masami (Kanagawa JPX), Quantity-of-light adjusting device.
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이 특허를 인용한 특허 (5)

Krivanek, Ondrej L.; Nellist, Peter D.; Dellby, Niklas, Aberration-corrected charged-particle optical apparatus.
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Kakibayashi, Hiroshi; Hosoki, Shigeyuki; Takagi, Yuji; Miyake, Ryo; Nakamura, Kuniyasu; Sato, Mitsugu; Kobayashi, Hiroyuki, Bio electron microscope and observation method of specimen.
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Kaji, Kazutoshi; Terada, Shohei; Otaka, Tadashi, Electron microscope.
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Trevor,Colin Geoffrey; Dickerson,Frank E.; Bjork,Matt, Energy selecting slit and energy selective sample analysis systems utilizing the same.
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Loomis Paul A. ; Rutishauser Hans J. ; Lu Jun ; Sugitani Michiro,JPX ; Murakami Toru,JPX ; Sogabe Hiroshi,JPX, Method and system for operating a variable aperture in an ion implanter.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

KIPRIS 원문보기

IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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