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특허 상세정보

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Electrooptic probe for measuring voltage of an object having a high permittivity film fixed on an end face of a reflecti

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) G01R-023/16   
미국특허분류(USC) 324/96 ; 324/750
출원번호 US-0547449 (1995-10-24)
우선권정보 JP-0054221 (1993-03-15)
발명자 / 주소
  • Takahashi Hironori (Hamamatsu JPX) Wakamori Kazuhiko (Hamamatsu JPX)
출원인 / 주소
  • Hamamatsu Photonics K.K. (Hamamatsu JPX 03)
인용정보 피인용 횟수 : 7  인용 특허 : 0
초록
▼

An electrooptic probe for measuring voltage of an object without contact with the object. The electrooptic probe according to the present invention includes an electro-optic material having a refractive index to light that varies in accordance with an electric field, a conductive reflecting film for reflecting an incident beam transmitted through the electro-optic material, fixed to an end face of the electro-optic material facing the object to be measured, a transparent electrode fixed on the other end face of the electro-optic material, and a high perm...

대표
청구항
▼

An electrooptic probe comprising: an electro-optic material; a reflecting film disposed on a first end surface of said electro-optic material; a transparent electrode disposed on a second end surface of said electro-optic material; a high-permittivity film disposed on a second end surface of said reflecting film, said high-permittivity film having a capacitance such that condition (1) produces a value of fT that is illustrative of increased sensitivity in a low frequency range around 3.59×103 Hz: [Figure] (1) where C1 and R1 are capacitance and resistanc...

이 특허를 인용한 특허 (7)

  1. Ito, Akishige; Yanagisawa, Yoshiki; Kikuchi, Jun; Banjo, Nobukazu; Gupta, Sanjay; Shinagawa, Mitsuru; Nagatsuma, Tadao; Kyuragi, Hakaru, Electro-optic probe and magneto-optic probe.
  2. Wakana Shin-ichi,JPX ; Miyamoto Akinori,JPX ; Hama Soichi,JPX ; Ozaki Kazuyuki,JPX ; Nagai Toshiaki,JPX, Electrooptic voltage waveform measuring method and apparatus.
  3. Wakana Shin-ichi,JPX ; Miyamoto Akinori,JPX ; Hama Soichi,JPX ; Ozaki Kazuyuki,JPX ; Nagai Toshiaki,JPX, Electrooptic voltage waveform measuring method employing light sampling technique using Pockels effect.
  4. Taravade Kunal ; Miller Gayle ; Shelton Gail, Method for enhancing anti-reflective coatings used in photolithography of electronic devices.
  5. Taravade, Kunal; Miller, Gayle; Shelton, Gail, Method for enhancing anti-reflective coatings used in photolithography of electronic devices.
  6. Kazuhisa Sueoka JP, Thin film spin probe.
  7. Ganser, Michael, Video microscopy method.

IPC 상위 출원인