[특허]Substrate transfer apparatus, and method of transferring substrates

Substrate transfer apparatus, and method of transferring substrates 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B65G-049/07
출원번호	US-0455662 (1995-05-31)
우선권정보	JP-0169891 (1992-06-05); JP-0175940 (1992-06-11)
발명자 / 주소	Ohsawa Tetu (Sagamihara JPX) Tateyama Kiyohisa (Kumamoto JPX)
출원인 / 주소	Tokyo Electron Limited (Tokyo JPX 03) Tokyo Electron Tohoku Limited (Esashi JPX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 41 인용 특허 : 0

초록 ▼

In a vertical heat treatment apparatus, a transfer apparatus is used to transfer a wafer between a wafer carrier and a wafer boat. The transfer apparatus comprises a base unit, a fork, three non-contact type sensors, and a main controller. The base unit can move between a first position at which to transfer the wafer to and from the wafer carrier and a second position at which to transfer the wafer to and from the wafer boat. The fork can move back and forth with respect to the base unit, for supporting the wafer. The non-contact type sensors are mounted on the fork, for detecting the position of the wafer. The main controller controls the base unit and the fork in accordance with the data detected by the non-contact type sensors.

대표청구항 ▼

An apparatus for transferring substrates from a first substrate support to a second substrate support, comprising: a base unit capable of moving between a first position at which to transfer a substrate from said first substrate support and a second position at which to transfer the substrate to said second substrate support; a substrate-transferring member provided on said base unit and capable of moving back and forth with respect to said base unit, for receiving the substrate from said first substrate support and for transferring the substrate to said second substrate support, said substrate-transferring member including an aperture; and a non-contact type sensor unit provided on said substrate-transferring member for detecting whether said substrate is present on said substrate-transferring member, and for detecting a distance in a vertical direction between said substrate-transferring member and said substrate, said non-contact type sensor unit including a sensor disposed on a lower plate, and wherein said lower plate is disposed below said substrate-transferring member such that said non-contact type sensor unit senses said substrate through said aperture.

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A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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