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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0207457 (1994-03-07) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 83 인용 특허 : 23 |
A thin film filter fabricated using surface micromachining. The width of the filter pores is determined by the thickness of a sacrificial thin-film layer. This dimension can be precisely controlled, and may be as small as about 50 angstroms. The pore length may also be determined by the thickness of
A method for fabricating a filter having pores with short pore lengths, comprising: forming a first structural layer over a sacrificial top layer of a substrate; forming a sidewall support sacrificial layer having substantially vertical sidewalls; forming a pore sacrificial layer whose thickness def
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