[특허]Device for coupling loading and unloading devices with semiconductor processing machines

Device for coupling loading and unloading devices with semiconductor processing machines 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B65G-049/07
출원번호	US-0430816 (1995-04-28)
우선권정보	DE-4425208 (1994-07-16)
발명자 / 주소	Scheler Werner (Jena DEX) Lahne Berndt (Jena DEX) Mages Andreas (Jena DEX) Michl Uwe (Jena DEX) Gemkow Eberhard (Jena DEX) Schulz Alfred (Jena DEX)
출원인 / 주소	Jenoptik Technologie GmbH (Jena DEX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 38 인용 특허 : 0

초록 ▼

The object of a device for coupling loading and unloading devices with semiconductor machines is to couple devices required for the use of SMIF technology with semiconductor processing machines in which subsequent integration of SMIF technology is not possible, wherein the charging to be carried out after coupling is highly flexible and capable of managing increasing dimensions of semiconductor wafers. An adjustable receiving element for the loading and unloading device is provided inside a movable enclosure, this receiving element being displaceable between at least two planes situated one above the other, one plane serving for charging the loading and unloading device and every other plane being used for the charging of the semiconductor machine carried out by the loading and unloading device. The enclosure has aligning and holding elements for fastening to a coupling element which is aligned with the semiconductor processing machine. The device enables retrofitting of semiconductor processing planes with SMIF technology while taking into account ergonomic requirements.

대표청구항 ▼

A device for coupling loading and unloading devices with semiconductor processing machines, comprising: an adjustable receiving element for a loading and unloading device which is provided inside a movable enclosure; said receiving element being displaceable between at least two planes situated one above the other, one plane serving for charging the loading and unloading device and every other plane being used for the charging of the semiconductor machine carded out by the loading and unloading device; wherein said enclosure has aligning and holding elements for fastening to a coupling element which is aligned with the semiconductor processing machine; wherein said enclosure includes a stationary outer part and an extendable inner part which encloses the receiving element together with the loading and unloading device; and wherein said inner part can be moved in and out in a telescoping manner together with the receiving element and the loading and unloading device for the purpose of adjusting the receiving element between planes located one above the other.

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A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
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