[특허]Device for transferring plate-like objects

Device for transferring plate-like objects 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B65H-005/08
출원번호	US-0677805 (1996-07-10)
우선권정보	JP-0271307 (1993-10-04); JP-0271308 (1993-10-04)
발명자 / 주소	Ishii Katsumi (Kanagawa-ken JPX) Kikuchi Hisashi (Esashi JPX)
출원인 / 주소	Tokyo Electron Limited (Tokyo JPX 03) Tokyo Electron Tohoku Limited (Esashi JPX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 18 인용 특허 : 0

초록 ▼

A plate-like object carrier device comprising plural arms arranged at a same pitch interval to horizontally support a wafer on each of the arms, a first motor for driving a single arm forward and backward and independently of a group of arms, a second motor for driving the group of arms forward and backward at the same time except the single arm, a power supply for supplying power to the first and second motors, and a controller for selecting whether to supply power only to the first motor or both of the first and second motors.

대표청구항 ▼

A plate-like object carrier device for transferring plural plate-like objects together, which are arranged at a substantially same pitch interval, into or out of a section, while taking a center reference position as the reference, comprising: plural pairs of arms which can be moved forward and backward simultaneously each pair comprising arms arranged symmetrically relative to the center reference position, to horizontally support a plate-like object on each of the paired arms; an independent arm arranged at the center reference position and moved forward and backward independently of said paired arms; pitch changing means for moving the paired arms up and down, respectively, and symmetrically relative to the center reference position at which said independent arm is arranged to change the pitch interval between an adjacent two of the plate-like objects, said pitch changing means including: slide guide members connected to the corresponding paired arms; plural screws for supporting the slide guide members movable for every pair of paired arms; means for rotating the screws at the same time; and means for transmitting rotation force from the rotation means to each of the screws; wherein each of the screws has an upper screw portion threaded in one direction and a lower screw portion threaded in a direction opposite to said one direction, and wherein the rotation transmitting means adjusts the number of rotations per unit time transmitted to each of the screws in such a way that paired arms can be arranged symmetrically and at a same pitch interval relative to the center reference position.

이 특허를 인용한 특허 (18)

Sagues Paul ; Peurach John T. ; Aggarwal Sanjay D., Automatic calibration system for wafer transfer robot.
상세보기
Yun Jung-Bong,KRX ; Seo Gee-Ill,KRX ; Kim Hee-Jun,KRX, Charger assembly for a wafer carrying apparatus.
상세보기
James A. Cameron ; Steven G. Reyling, Dual arm substrate handling robot with a batch loader.
상세보기
Hashimoto, Yasuhiko; Ono, Shigeki; Fukushima, Takayuki, End effector device and substrate conveying robot including end effector device.
상세보기
Koguchi, Akira, Method and device for arraying substrates and processing apparatus thereof.
상세보기
Cameron,James A.; Reyling,Steven G., Method of removing substrates from a storage site and a multiple substrate batch loader.
상세보기
Fan Denis,TWX, Outlet port protective device for stocking unit.
상세보기
Miyashita Masahiro,JPX, Positioning apparatus for substrates to be processed.
상세보기
Miyashita Masahiro,JPX, Positioning apparatus for substrates to be processed.
상세보기
Miyashita Masahiro,JPX, Positioning apparatus for substrates to be processed.
상세보기
Nichols, Michael J.; Guarracina, Louis J., Self-sterilizing automated incubator.
상세보기
Cameron, James A.; Reyling, Steven G., Substrate handling robot with a batch loader and individual vacuum control at batch loader paddles.
상세보기
Mitsuyoshi, Ichiro; Muramoto, Ryo, Substrate processing apparatus and substrate conveying apparatus for use in the same.
상세보기
Mitsuyoshi, Ichiro; Muramoto, Ryo, Substrate processing apparatus and substrate conveying apparatus for use in the same.
상세보기
Hashimoto, Yasuhiko, Substrate transfer robot and substrate transfer system.
상세보기
Iwai Hiroyuki,JPX, Substrate transferring apparatus.
상세보기
Sagues Paul ; Gaudio Stephen A. ; Wong Tim K., Wafer aligner system.
상세보기
Fossey Michael E. ; Johnson Kirk Rodney ; Poduje Noel Stephen, Wafer transfer robot.
상세보기

IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
저장형식	Text(ASCII format) Excel format PIAS분석(.xls)
메일정보	받는사람 (필수) @ 보내는사람 (선택) @ 제목 내용 KISTI 검색결과 이메일 서비스
안내	총 건의 자료가 검색되었습니다. 다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000) 검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다. 데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요) 다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다. 파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오. ~ Text(ASCII format) Excel format

연합인증

Device for transferring plate-like objects 원문보기

초록 ▼

대표청구항 ▼

연구과제 타임라인

이 특허를 인용한 특허 (18)

관련 콘텐츠

특허 원문 보기

IPC 상위 출원인

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트

연합인증

Device for transferring plate-like objects 원문보기

초록 ▼

대표청구항 ▼

연구과제 타임라인

전체(0) 논문(0) 특허(0) 보고서(0)

전체(0) 논문(0) 특허(0) 보고서(0)

이 특허를 인용한 특허 (18)

관련 콘텐츠

특허 원문 보기

IPC 상위 출원인

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트