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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0632708 (1996-04-15) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 49 인용 특허 : 0 |
A system including a plurality of gas flow control units in cabinets which are connected to distribute process gas, on demand, to a plurality of utilization locations known as “tool”locations in a semi-conductor manufacturing plant. Transducers are used in the system to measure pressures and other c
In or for a process gas distribution control unit which handles hazardous gases, said control unit having at least one gas pressure measurement transducer for measuring the pressure of gas handled by said control unit and outputting a measured output correlated to the pressure wherein there is an id
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