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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0422485 (1995-04-12) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 69 인용 특허 : 30 |
A semiconductor processor for spray coating wafers or other semiconductor articles. The processor has a compartment in which are mounted a wafer transfer, coating station and thermal treatment station. The coating station has a spray processing vessel in which a movable spray-head and rotatable wafe
A semiconductor processing apparatus for applying a coating layer to a semiconductor article being coated using a coating, comprising: a spray processing vessel; a wafer support mounted with at least portions thereof within the spray processing vessel for holding the semiconductor article within the
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