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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0489023 (1995-06-08) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 220 인용 특허 : 53 |
Improved microsensors are provided by combining surface micromachined substrates, including integrated CMOS circuitry, together with bulk micromachined wafer bonded substrates which include at least part of a microelectromechanical sensing element. In the case of an accelerometer, the proof mass is
A CMOS integrated microsensor comprising: a first semiconductor substrate having surface machined therein an etch pit; a CMOS circuit fabricated within said first substrate; and a semiconductor, wafer-bonded second substrate disposed on said first substrate over said etch pit, said wafer bonded seco
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