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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0529138 (1995-09-15) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 10 인용 특허 : 0 |
The refrigeration system according to the invention includes a vacuum jacketed pressure vessel which contains both a spray heat exchanger and a shell and tube heat exchanger. The spray heat exchanger includes one or more nozzles for directing a first refrigerant at a heat exchanger element conveying
A method of cooling a susceptor in a semiconductor wafer fabrication process comprising the steps of: providing a primary refrigerant and a secondary refrigerant in liquid form; spraying the primary refrigerant onto a device located in a pressure vessel to effect evaporation of the primary refrigera
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