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Refrigeration system and method for cooling a susceptor using a refrigeration system

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F25D-017/02
출원번호 US-0529138 (1995-09-15)
발명자 / 주소
  • Paganessi Joe (Burr Ridge IL)
출원인 / 주소
  • American Air Liquide, Inc. (Houston TX 02)
인용정보 피인용 횟수 : 10  인용 특허 : 0

초록

The refrigeration system according to the invention includes a vacuum jacketed pressure vessel which contains both a spray heat exchanger and a shell and tube heat exchanger. The spray heat exchanger includes one or more nozzles for directing a first refrigerant at a heat exchanger element conveying

대표청구항

A method of cooling a susceptor in a semiconductor wafer fabrication process comprising the steps of: providing a primary refrigerant and a secondary refrigerant in liquid form; spraying the primary refrigerant onto a device located in a pressure vessel to effect evaporation of the primary refrigera

이 특허를 인용한 특허 (10)

  1. Lingelbach, Fred; Lingelbach, John, Condenser evaporator system (CES) for decentralized condenser refrigeration.
  2. Lingelbach, Fred; Lingelbach, John, Condenser evaporator system (CES) for decentralized condenser refrigeration system.
  3. Eibl, Markus, Hybrid chuck.
  4. Cheng, Alan, Method and system for controlled rate freezing of biological material.
  5. Flynn,Kevin P.; Boiarski,Mikhail; Podtcherniaev,Oleg, Methods of freezeout prevention and temperature control for very low temperature mixed refrigerant systems.
  6. Podtchereniaev,Oleg; Apparao,Tamirisa; Flynn,Kevin P.; Yudin,Boris; Mogarichni,Vladimir; Boiarski,Mikhail, Nonflammable mixed refrigerants (MR) for use with very low temperature throttle-cycle refrigeration systems.
  7. Lingelbach, Fred; Lingelbach, John, Refrigeration system and methods for refrigeration.
  8. Lingelbach, Fred; Lingelbach, John, Refrigeration system and methods for refrigeration.
  9. Goth Gary F. ; Loparco John J. ; Singh Prabjit, Sealed multi-chip module cooling system.
  10. Moriya, Tsuyoshi; Nagaseki, Kazuya, Substrate processing system, substrate processing method, and storage medium.
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