최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0200673 (1994-02-23) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 74 인용 특허 : 0 |
A rapid thermal anneal (RTA) process minimizes the intermixing of materials between a bump and a bonding pad so as to provide for a more reliable and durable interconnect between the bump and the bonding pad and so as to allow the probing of wafers prior to bumping. A barrier layer is formed over th
A method for use in semiconductor device fabrication comprising the steps of: (a) forming over a semiconductor substrate a semiconductor device having a bonding pad; (b) forming over the semiconductor device a layer having an opening which exposes a portion of the bonding pad; (c) forming a bump com
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.