[특허]Boron containing multilayer coatings and method of fabrication

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B32B-018/00 C23C-014/35
출원번호	US-0334091 (1994-11-04)
발명자 / 주소	Makowiecki Daniel M. (Livermore CA) Jankowski Alan F. (Livermore CA)
출원인 / 주소	Regents of the University of California (Oakland CA 02)
인용정보	피인용 횟수 : 37 인용 특허 : 0

초록 ▼

Hard coatings are fabricated from multilayer boron/boron carbide, boron carbide/cubic boron nitride, and boron/boron nitride/boron carbide, and the fabrication thereof involves magnetron sputtering in a selected atmosphere. These hard coatings may be applied to tools and engine and other parts, as well to reduce wear on tribological surfaces and electronic devices. These boron coatings contain no morphological growth features. For example, the boron and boron carbide used in forming the multilayers are formed in an inert (e.g. argon) atmosphere, while the cubic boron nitride is formed in a reactive (e.g. nitrogen) atmosphere. The multilayer boron/boron carbide, and boron carbide/cubic boron nitride is produced by depositing alternate layers of boron, cubic boron nitride or boron carbide, with the alternate layers having a thickness of 1 nanometer to 1 micrometer, and at least the interfaces of the layers may be of a discrete or a blended or graded composition.

대표청구항

A multilayer structure consisting of a material selected from the group consisting of alternating layers of boron and boron carbide, and alternating layers of boron nitride and boron carbide.

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