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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0250500 (1994-05-27) |
우선권정보 | JP-0277795 (1992-09-21); JP-0327340 (1992-11-11); JP-0341143 (1992-11-26); JP-0341144 (1992-11-26); JP-0046003 (1993-02-09); JP-0107562 (1993-04-08) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 15 |
A film forming apparatus includes a film forming chamber in which a film is formed on a substrate at a film forming position, a plurality of load lock chambers provided on the film forming chamber through gate valves respectively, a plurality of pivots provided in the film forming chamber correspond
A film forming apparatus comprising a delivering device of a substrate to be subjected to film formation, said delivering device comprising: a rotatable front shaft and a rotatable rear shaft which are provided in parallel in a horizontal plane; a front link and a rear link which are fixed to said f
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