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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0270271 (1994-07-05) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 12 인용 특허 : 5 |
A method of fabricating a planar micro-motor particularly well-suited to batch methods of microfabricating multiple planar stepper micro-motors from a single substrate wafer. Such micro-motors, having a planar stator supported by an electrically insulating substrate, a planar rotor body aligned over
A method of fabricating a planar micro-motor comprising a planar stator supported by an electrically insulating substrate, a planar rotor body aligned over the stator, and a housing integral with the substrate and forming a rotor chamber therewith in which the rotor is rotatably captured, the method
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