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특허 상세정보

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Heater with tapered heater density function for use with mass flowmeter

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) G01F-001/68   
미국특허분류(USC) 73/2025 ; ; 73/20225
출원번호 US-0664141 (1996-06-14)
발명자 / 주소
  • Maginnis
  • Jr. Thomas O. (Dracut MA)
출원인 / 주소
  • MKS Instruments, Inc. (Andover MA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 12  인용 특허 : 10
초록

The disclosed flowmeter includes a sensor tube and a heater. The sensor tube defines an input end, an output end, and an interior channel extending from the input end to the output end and permits fluid to flow from the input end through the channel to the output end. The heater includes a first end and a second end, and the heater establishes a non-uniform heater density function between the first and second ends. The heater is disposed proximal to the sensor tube for heating the tube.

대표
청구항
▼

A mass flow transducer including: (A) a sensor tube defining an input end, an output end, and an interior channel extending along a longitudinal axis from said input end to said output end and permitting a fluid to flow from said input end through said channel to said output end; (B) heater means including a first end and a second end disposed in proximity to said sensor tube for heating at least a portion of said sensor tube, said heater means establishing a non-uniform tapered heater density function between said first and second ends along the longitu...

이 특허에 인용된 특허 (10)

  1. Hinkle Luke D. (Townsend MA), Constant temperature gradient fluid mass flow transducer.
  2. Hinkle Luke D. (Townsend MA) Provost James (Derry NH), Differential current thermal mass flow transducer.
  3. Mariano, Charles F., Fast responsive flowmeter transducer.
  4. Drexel Charles F. (Rolling Hills CA) Mudd Daniel T. (St. Charles MO) Saghatchi Hamid (Orange CA), Flow sensor.
  5. Suzuki Isao (Tokyo JPX), Flowmeter sensor.
  6. Hartemink Gerrit A. (Harderwijk NLX), Improved flow meter.
  7. Blair Richard F. (Palos Verdes Peninsula CA), Mass flow meter with reduced attitude sensitivity.
  8. van der Graaf, Frederik, Mass-flow meter with temperature sensors.
  9. Ewing James H. (Brockton MA) Ramberg Fred G. (Salem MA), Thermal mass flowmetering.
  10. Shambayati Ali (Tucson AZ), Wide range laminar flow element.

이 특허를 인용한 특허 (12)

  1. Thomas O. Maginnis, Jr., Constant temperature gradient differential thermal mass flow sensor.
  2. Speldrich, Jamie, Flow sensor with bypass taps in laminar flow element laminarizing channel.
  3. Speldrich, Jamie; Milley, Andrew Joseph; Sorenson, Richard Charles, Flow sensor with bypass taps in laminarizing channel and flow restrictor in a bypass channel.
  4. Mashak, James N.; Kuzelka, Russell J., Flow sensor with heated air collar.
  5. Speldrich, Jamie; Sorenson, Richard Charles; Milley, Andrew Joseph; Speldrich, Brian, Flow sensor with multi-position laminar flow element having integrated bypass channels.
  6. Arnold, Armin; Wiedemann, Juergen, Mass flow measuring or controlling device.
  7. Nonaka, Toshihiko; Kataoka, Takeo; Esaki, Kazuto, Method and apparatus for measurement and automatic control of acid concentration.
  8. Toshihiko Nonaka JP; Takeo Kataoka JP; Kazuto Esaki JP, Method and apparatus for measurement and automatic control of acid concentration.
  9. Pascal Rudent FR; Andre Boyer FR; Alain Giani FR; Pierre Navratil FR, Sensor for a capillary tube of a mass flow meter.
  10. Maginnis, Jr., Thomas O.; Baxter, Jr., Wilfred J., Thermal mass flow sensor with improved sensitivity and response time.
  11. Lull, John Michael, Variable resistance sensor with common reference leg.
  12. Lull,John Michael, Variable resistance sensor with common reference leg.

IPC 상위 출원인