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Apparatus for optical differential measurement of glide height above a magnetic disk 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01B-009/02
출원번호 US-0710818 (1996-09-23)
발명자 / 주소
  • Lu Huizong (Coconut Creek FL) Taheri Ali Reza (Boca Raton FL)
출원인 / 주소
  • International Business Machines Corporation (Armonk NY 02)
인용정보 피인용 횟수 : 5  인용 특허 : 8

초록

A glide height tester for inspecting a surface of a spinning magnetic disk includes a glide plate, which is mounted to pivot above the disk surface. A reflective surface fastened to the glide plate is imaged by interferometric apparatus which produces a calculated output indicating a first angle of

대표청구항

Inspection apparatus for inspecting a surface of a disk, wherein said apparatus comprises: means for rotating said disk about a center thereof; a glide plate movably mounted to extend adjacent said surface of said disk, wherein air dragged by rotation of said disk causes movement of said glide plate

이 특허에 인용된 특허 (8)

  1. Cohen Donald K. (Tucson AZ) Ayres James D. (Tucson AZ) Cochran Eugene R. (Tucson AZ), Apparatus and method for automatically focusing an interference microscope.
  2. Fortunato Gerard (Cachan FRX) Marechal Robert A. (Orsay FRX) Menetrier Marc G. Y. (St. Ouen FRX), Device for interferential spectrometry with selective modulation.
  3. Fukuzawa Tadashi (3-23-2 Kyodo Setagaya-ku ; Tokyo JPX 156) Hisano Teiji (4-1547 Endo Fujisawa-shi ; Kanagawa-ken JPX 252) Ikarugi Kohichi (7-7 Hishinumakaigan Chigasaki-shi ; Kanagawa-ken JPX 253) M, Head flying height measuring apparatus.
  4. Golby John A. (Aschaffenburg DEX) Padgett Miles J. (Impington GB2) Woodall Stephen P. (Histon GB2), Inspection interferometer with scanning autofocus, and phase angle control features.
  5. de Groot Peter (Middletown CT) Deck Leslie L. (Middletown CT), Interferometer and method for measuring the distance of an object surface with respect to the surface of a rotating disk.
  6. Kulkarni Murlidhar V. (Tucson AZ) Lancaster ; Jr. William H. (Tucson AZ), Interferometric dimensional measurement and defect detection method.
  7. Makosch Geunter (Sindelfingen DEX) Solf Bernhard (Sindelfingen DEX), Interferometric measuring method.
  8. Downs Michael J. (‘Karibu’ ; Furze Hill Rd. Headley Down ; Hampshire GB2), Surface profile interferometer.

이 특허를 인용한 특허 (5)

  1. Wang,Jianmin; Pressesky,Jason L.; Wang,Li Ping, Dual-beam interferometer for ultra-smooth surface topographical measurements.
  2. Yao Wei H. ; Sundaram Ramesh, Glide head apparatus for testing recording media.
  3. Yao Wei H. ; Sundaram Ramesh, Glide height testing using a glide head apparatus with a piezoelectric actuator.
  4. Yao Wei H. ; Sundaram Ramesh, Glide height testing using a glide head apparatus with a piezoelectric actuator.
  5. Jeng, Jeng-Ywan; Goudarzi Khouygani, Mohammad Hossein; Wu, Chyan-Chyi, Optical device.
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