[특허]Substrate rotating device

Substrate rotating device 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B08B-003/02
출원번호	US-0590434 (1996-01-23)
우선권정보	JP-0066686 (1995-03-02)
발명자 / 주소	Matsuo Manabu,JPX
출원인 / 주소	Canon Kabushiki Kaisha, JPX
대리인 / 주소	Fitzpatrick, Cella, Harper & Scinto
인용정보	피인용 횟수 : 38 인용 특허 : 0

초록 ▼

A substrate rotating device includes a turn table placed horizontally, a substrate supporting member provided on the turn table, for supporting a substrate with respect to a vertical direction and for regulating the position of the outside periphery of the substrate with respect to a horizontal direction, a driving mechanism causing rotation of the turn table, an opening formed in the turn table, and an evacuating mechanism rotatable as a unit with the turn table, for forcibly evacuating a space between the turn table and the substrate through the opening,

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A substrate rotating device, comprising:a turn table placed horizontally;a substrate supporting member provided on said turn table, for supporting a substrate with respect to a vertical direction and for regulating the position of the outside periphery of the substrate with respect to a horizontal direction;driving means for causing rotation of said turn table;an opening formed in said turn table; andevacuating means rotatable as a unit with said turn table, for forcibly evacuating a space between said turn table and the substrate through said opening, said evacuating means comprising blowing means having (i) lower plate disposed below said turn table and placed coaxially with and parallel to said turn table said lower late having a central shaft connected to said driving means, and (ii) a plurality of blades disposed between said turn table and said lower plate and placed at an angle with respect to a direction of a radius of said turn table, the angle being in a direction opposite to the rotational direction of said turn table, said plurality of blades coupling said turn table with said lower plate as a unit, said blowing means being rotatable integrally with said turn table and said lower plate as the central shaft is driven by said driving means and said evacuating means further comprising a channel-shaped member disposed circumferentially about said blowing means to provide a gas flowpassage and a gas outlet port at an end of said gas flowpassage.

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A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
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